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电话：+86-10-6845-0201
传真：+86-10-6845-0201
E-mail:ionbeam@ionbeamtech.com |
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FIB(聚焦离子束)是将液态金属(Ga)离子源产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得电子像.此功能与SEM（扫描电子显微镜）相似,或用强电流离子束对表面原子进行剥离,以完成微、纳米级表面形貌加工.通常是以物理溅射的方式搭配化学气体反应，有选择性的剥除金属,氧化硅层或沉积金属层。 |
| 公司简介 |
纳瑞科技（北京）有限公司是由在聚焦离子束（扫描离子显微镜）应用技术领域有多年经验的技术骨干创立而成。我们为集成电路设计和制造工业，光电子工业，纳米材料研究客户提供一流的分析技术服务。我们特别专注于离子束应用技术在
IC芯片修改以及失效分析领域的技术开发。利用我们的技术实力为IC 设计，制造客户提供世界水平的分析技术服务。》more
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| 技术专长 |
针对0.18微米线宽以下多层铜布线芯片的修改工艺
针对模拟信号IC芯片的低阻值连接
针对长距离连线的低阻值连接
新型气体源FIB切割加工服务 |
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